一:光刻掩膜版
接觸光刻機使用的掩膜版(蘇打或石英版)尺寸:3/4/5/7/9寸(最小線寬》2um)
步進式光刻機(stepper)需要用的石英光刻版
二:金屬掩膜版
不銹鋼,磁性材料等金屬掩膜擋版,(最小線寬》20um)
地址:江蘇省蘇州市工業園區九江路2號3幢
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