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    MEMS加工中都用到哪些襯底？
    
	 
    2020-11-20 21:11:05
    
	 
    
	 
         
    
	主要包含以下襯底： 

    

    
	單晶硅襯底；SOI襯底；玻璃襯底；碳化硅襯底，二四族襯底，三五族襯底；藍寶石襯底，陶瓷襯底，柔性材料襯底，壓電材料襯底等 

    

    
    
   
    
    
   
    
   




 
    



    
 
    
  
    
   
    
    
	 
	 
    
	 
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